三坐標即三坐標測量機，它是指在三維可測的空間范圍內，能夠根據測頭系統返回的點數據，通過三坐標的軟件系統計算各類幾何形狀、尺寸等測量能力的儀器，又稱為三次元、三坐標測量機、三坐標測量儀。
三坐標測量儀可定義為一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸的位移測量系統(如光學尺)經數據處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(X、Y、Z)及各項功能測量的儀器。
如何減少三坐標測量誤差?三坐標直接用激光干涉儀等測量單項原始誤差，能以較高的精度檢測到這些誤差值。不足之處，是激光干涉儀價格昂貴、對環境條件要求高、對操作者的技術水平的要求也較高。
三坐標測量儀誤差檢測方法可以分成兩大類：一類是用激光干涉儀等儀器檢測三坐標測量機的各個單項原始誤差；另一類是用球列、球板等實物基準檢測檢測三坐標測量機的綜合誤差，然后分解出原始誤差。
在分解各項原始誤差時，一項重要基礎是三坐標測量機本身有很好的重復性。球列、球板等實物基準需通過激光干涉儀進行檢定，對球板本身的穩定性有較高要求。在由綜合誤差分解為單項誤差時，難免有交叉影響，分解得到的原始誤差的不確定度比用激光干涉儀等直接測量要大。再則，一般步距或球間距不易做得很小，不像激光干涉儀可對三坐標測量儀的各項誤差進行連續檢測。
